原裝BROOKS質量流量控制器SLA5851SD1AB1C2A1基本原理：
通過測量氣體流經流量計內加熱元件時的冷卻效應來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內有兩個熱阻元件，其中一個作為溫度檢測，另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度，加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。當氣體流速增加，冷卻效應越大，使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質量流量，即供給電流與氣體質量流量有一對應的函數關系來反映氣體的流量。
應用：
- 化學品和石化催化劑研究和試驗過程
- 實驗室和分析系統
- 燃料電池技術
- 生命科學實驗室
原裝BROOKS質量流量控制器SLA5851SD1AB1C2A1技術規格參數：
流量范圍-滿量程容量：.003 - 2500 slpm
精度：
0.9% of SP (20-100% FS)
0.18% of FS (2-20% FS)
1-50 slpm: 0.18% of SP (1-20% FS)
1100 slpm up to 2500 slpm: 1.0% of FS
重復性：0.20% SP
大壓力：
.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar
100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar
Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device
大溫度：65℃
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原裝BROOKS質量流量控制器型號：
Schmalz SGM 70 G1/4-1G 10.01.17.00165
Hydac 1253050 0110-D-010-BH4HC
Piab #9902635 VGS5010. AM.00. BA
Pumpen Peters ZP-24-klein-5bar
GEA749862-0004(40mm) Eex2/22
GEA939176-0001Eex2/22
Bourdon Haenni RP2-NL-353
Global Laser Acculase PWM
BE-3976A
0522111RI58-0/500EK42KH
0525408 RI58-0/2048EK.42RH HDA 4745-A400-000
Statox 501 Sensor Combustible ARE
Meister DKWA-1/10 G3/4"VA Wechsler
Bourdon Haenni RP2-NL-353
Global Laser Acculase PWM
Huba 528.9321031811.
Sommer GP30-B Oleodinamica REVA#19.102.487
MEN Mikro 04m047-00
Pister BKH-G1/2-13-11251-ES
NSF #3103525